Tá dhá-photonic léasar lithograph (DL) ar cheann de na treoracha is mó i bhforbairt na dteicneolaíochtaí breiseán a úsáidtear chun micrea-agus nanoobjects polaiméir a chruthú. Is é a móide neamhchoinníollach an cumas struchtúir de bheagnach aon chumraíocht tríthoiseach a chruthú, ar féidir é a úsáid nuair a bhíonn criostail fótóin, tonnchuideachtaí, feistí meicniúla éagsúla á gcruthú, chomh maith le feistí próiseála agus stórála.
Mar sin féin, in ainneoin na ndeiseanna iontacha a sholáthraíonn an teicneolaíocht seo, tá teorainneacha suntasacha ann. Tá rogha na n-ábhar nuair a úsáideann tú DLLT teoranta ag fótagrafóirí - ábhair pholaiméireacha photosensitive. Mar gheall ar thrédhearcacht na polaiméirí sa raon infheicthe, an easpa seoltachta leictreach, airíonna meicniúla meicniúla, chomh maith le teas íseal teasa agus radaíochta, fanann úsáid phraiticiúil na struchtúr a cruthaíodh le dll teoranta. Is féidir cuid de na srianta atá ann cheana a shárú ag úsáid iarphróiseála struchtúir DF.
Ceann de na modhanna tuar dóchais inti iar-phróiseáil a dtugtar pirealú, a sholáthraíonn ag an am céanna an dá méadú ar an réiteach agus tabhairt isteach feidhmiúlacht nua. Go háirithe, léirigh ábhair pyrolycred cobhsaíocht ard teirmeach agus radaíochta chomh maith le neart meicniúil méadaithe. DLL Ina dhiaidh sin tá Pyrolysis a úsáidtear go rathúil cheana féin chun nanoelechrodes carbóin a fháil le haghaidh Neurotiator Sounding, leideanna speisialta do mhicreascópacht fhórsa adamhach, criostail fótóin sa raon infheicthe agus meitimaters meicniúla superproof.
Feabhsaíonn Pyrolysis freisin réiteach an modh dll, ós rud é go léirigh an struchtúr nochta do phirealú, crapadh suntasach i gcomparáid leis an méid bunaidh. Ach an crapadh na struchtúr pyrolyzed aggravates an fhadhb struchtúr greamaitheacht leis an tsubstráit a eascraíonn cheana féin sa chéim dll. Tá na fadhbanna tábhacht phraiticiúil tábhachtach, ach go dtí seo ní raibh aon taighde cuimsitheach ar na saincheisteanna. Idir an dá linn, tá an measúnú ceart ar an laghdú ar mhéid na n-eilimintí agus go ginearálta an measúnú cuimsitheach ar thionchar pirealú ar an struchtúr DF fíor-riachtanach má tá tasc a fháil próiseáil mic le cruinneas ard.
Barr an tsraith: IP-snámh (a) lionsa (a) go pirealú agus (b) i ndiaidh pirealúcháin ag 450 céim C. Lár-Raon: Ormocomp (c) Lionsa le Pyrolysis agus tar éis Pyrolysis in (d) 450 céim C agus (e) 690 céim c. Réimse níos ísle: lionsa sz2080 (f) go pirealú agus (f) tar éis pirealú ag 690 céim C / © www.osapublish.org
Eolaithe na n-earnálacha NanoFotonic de lár na teicneolaíochtaí Quantum MSU a leagtar orthu féin an tasc a sheoladh staidéar comparáideach ar an tionchar a bhíonn ag pirealú ar rudaí soladacha i méid an iliomad micriméadair, atá clóite ag baint úsáide as teicneolaíocht dll ó thrí photoresists atá ar fáil ó thaobh na tráchtála de: IP orgánach atá ar fáil go hiomlán -Dip agus orgáin-neamhorgánach Ormocop agus SZ2080. I gcás teochtaí a bheidh ann chun tosaigh 450 agus 690 céim Celsius in atmaisféar Argóin, measadh athruithe ar an méid, comhdhéanamh ceimiceach agus greamaitheacht leis an tsubstráit an pláta sileacain.
Sa obair a foilsíodh san Ábhar Optúil Express Express Journal, dheimhnigh eolaithe CCC go bhfuil an crapadh an struchtúir a chinneadh ag an gcineál fótagraf, chomh maith leis an teocht pyrolysis, atmaisféar agus struchtúr geoiméadracht. Ag cur san áireamh iompar fótaireolaí ar leith tar éis iarphróiseála le pirealú le pirealú, is féidir na torthaí is fearr a bhaint amach, a chomhfhreagraíonn go hiomlán leis na tascanna sonracha, agus ag cruthú micrea-resistant agus muinín iontaofa agus nanostructures de chruth treallach agus beagnach aon cheann scríbe.
Léirigh comparáid go bhfuil crapadh níos láidre mar thoradh ar theocht níos airde. Déantar struchtúir ó IP-DIP tar éis é a thiontú ina charbón gloine, agus déantar substaintí neamhorgánacha na n-ormocomp agus na fóchóstairí SZ2080 a mhodhnú sa ghloine le neamhnealadh. Léiríonn struchtúir ó IP-DIP freisin an crapadh is mó ó na fótagrafaithe roghnaithe. Dá bhrí sin, is féidir an dll leis an pirealú ina dhiaidh sin ar an Pyrolysis IP-DIP a úsáid chun struchtúir charbóin gloine seoltaí a chruthú.
Tá Ormocomp úsáideach chun eagair ordaithe d'eilimintí optúla a chruthú a d'fhéadfadh a bheith ar an éileamh ar fhoinsí X-ghathaithe. Ina dhiaidh sin, is minic a dhícheanglaíonn na struchtúir ón SZ2080 fótarasóireachta le linn pirealú ón tsubstráit, atá áisiúil chun struchtúir aonair a mhonarú, rud a chaithfear a bhogadh go dtí Dé Céadaoin eile ansin. Is féidir na sonraí a fuarthas a úsáid tuilleadh ag baint úsáide as teicneolaíocht pyrolysis mar mhodh caighdeánach de struchtúir iarphróiseála a cruthaíodh le teicneolaíocht dll, agus beidh sé mar fhorbairt ghníomhach ar an gcineál seo iarphróiseála, eolaithe.
Foinse: Eolaíocht Naked