Twa-fotoanyske laser litografen (DL) is ien fan 'e wichtichste oanwizings yn' e ûntwikkeling fan addative technologyen dy't brûkt wurde om polymer mikro- en nanoobbeen te meitsjen. It is sûnder betingsten plus is de mooglikheid om struktueren te meitsjen fan hast alle trijedimensjonale konfiguraasje, dat kin wurde oan it meitsjen fan fotonkristallen, ferskate meganyske apparaten, lykas yn ferwurking en opslachapparaten.
Nettsjinsteande de poerbêste kânsen levere lykwols troch dizze technology, befettet it substansjele beheiningen. De kar fan materialen by it brûken fan DLL is beheind troch fotoresisten - polymeryske fotosessitlike materialen. Fanwegen it transparânsje fan polymers yn it sichtbere berik, it gebrek oan elektryske kondyks, midsmjittich meganyske eigenskippen, lykas lege lege waarmte en strieling fan struktueren makke mei DLL bliuwt beheind. It is mooglik om guon fan 'e besteande beheiningen te oerwinnen mei post-ferwurking fan DF-struktueren.
Ien fan 'e belofte metoaden fan post-ferwurking hjit pyrolyse, wat tagelyk sawol in tanimming fan' e resolúsje leveret en de ynfiering fan nije funksjonaliteit. Yn 't bysûnder demonstrearre Pyrolycredmaterialen hege thermyske en strielingstabiliteit tegearre mei ferhege meganyske krêft. DLL folge troch Pyrolyse is al mei súkses brûkt om koalstof Nanoelectrodes te krijen foar neurotiator klinkt, spesjale tips foar atoomkrêft, foton kristallen yn it sichtbere berik en superproof meganyske metamaterialen.
Pyrolyse ferbetteret ek de resolúsje fan 'e DLL-metoade, om't de struktuer bleatsteld oan Pirolyse, liet in wichtige krimp fergelike mei de oarspronklike grutte. Mar de krimp fan Pyrolyzed-struktueren fergruttet it probleem fan adhesion-struktuer nei de substraat dat al yn 'e DLL-poadium ûntstiet. Dizze problemen binne wichtich praktysk belang, mar oant no wiene d'r gjin wiidweidich ûndersyk op dizze problemen. Underwilens de juste beoardieling fan 'e ôfname yn' e grutte fan 'e eleminten en yn' e wiidweidige beoardieling fan 'e ynfloed fan pirolyse op' e DF-struktuer is absoluut needsaaklik as der in taak is om mic-ferwurking te krijen mei hege krektens.
Top Row: IP-DIP (a) lens (a) lens (a) en (b) nei pyrolyse by 450 graden C. Midemy-rating: OMMOCK (C) lens nei pirolyse en nei pirolyse yn (D) 450 graden c en (e) 690 Degrees C. Legeringsberik: Lens SZ2080 (F) nei pirolyse en (F) nei Pyrolyse by 690 graden C / © www.osabublish.org
Wittenskippers fan 'e Nanofotonyske sektoaren fan it sintrum fan it sintrum fan Quantum Technologies set harsels yn te fieren fan in ferlyking fan pirolyse fan mikrometer, mei DLL-technology út trije kommersjeel beskikbere fotoresisten: Folslein organyske IP -Dip en oargel-inorganyske ormoegje ormoegje en SZ2080. Foar annealing temperatueren 450 en 690 graden Celsius yn in argyske sfear, feroaringen yn 'e grutte, gemyske gearstalling en adhesion nei it substraat fan' e silicon-plaat waarden skatte.
Yn it wurk publisearre yn 'e Optical Material Express-tydskrift, befêstige de CCC-wittenskippers dat de krimp fan' e struktuer wurdt bepaald troch it type fotorysist, lykas de pirolysisstemperatuer, sfear- en geometrystruktuer. Hannelje yn rekken mei it gedrach fan in bepaalde fotoresist nei post-ferwurking, is it mooglik om optimale resultaten te berikken, folslein oan te meitsjen mei de spesifike taken en betroubere mikro- en nanrostructures fan willekeurige foarm.
Fergeliking die bliken dat in hegere temperatuer liedt ta in sterker krimp. Struktueren fan ip-dip nei annilearjende wurde omboud ta glês koalstof, wylst de anorganyske stoffen fan 'e ormoComp en SZ2080 Fotoresisten wurde wizige yn it glês. Struktueren fan IP-DIP TELLIEF EAN DE GROENTE Wrinze fan 'e selekteare fotoresisten. Sa kin de DLL mei de folgjende pyrolyse fan 'e IP-dip-pyrolyze kin wurde brûkt om fierings glêzen struktueren te meitsjen.
OrmoCOM is handich foar it oanmeitsjen fan opdracht fan opdracht fan optyske eleminten dy't yn 'e fraach kinne wêze op röntgenboarnen. Op syn beurt wurdt de struktueren út 'e fotorysisten tidens Pyrolyse yn' e substraze faak útskeakele, dat handich is foar de fabrikaazje fan inkelde struktueren, dy't dan nei in oare woansdei moat wurde ferpleatst. De krigen gegevens kinne fierder wurde brûkt mei pyrolyse technology as in standertmetoade foar post-ferwurkingsstrukturen makke troch DLL-technology, en sil tsjinje as in aktive ûntjouwing fan dit soarte fan 'e post-ferwurkjen, wittenskippers.
Boarne: Naked Science