Ikki fotonik Litograf (DL) polimer mikro va nanoobjektorlarni yaratish uchun ishlatiladigan ekologiya texnologiyalarini rivojlantirishning asosiy yo'nalishlaridan biridir. Uning shartsiz plyus - bu deyarli uch o'lchovli konfiguratsiya tuzish va fotonografiya, turli mexanik qurilmalarni, shuningdek ishlov berish va saqlash moslamalarini yaratish paytida ishlatilishi mumkin bo'lgan deyarli uch o'lchovli konfiguralar yaratish qobiliyati.
Biroq, ushbu texnologiya tomonidan taqdim etilgan ajoyib imkoniyatlarga qaramay, unda katta cheklovlar mavjud. DLL-dan foydalanish fotorezistlar - polimerik Fotoenitsit materiallari bilan cheklangan. Ko'rinadigan diapazonda polimerlarning shaffofligi, elektr o'tkazuvchanligining etishmasligi, shuningdek, past issiqlik va radiatsiya barqarorligi, dll bilan yaratilgan tuzilmalardan amaliy foydalanish cheklangan. DF-tuzilmalarni qayta ishlashdan keyingi ba'zi cheklovlarni engish mumkin.
Qayta ishlov berishning istiqbolli usullaridan biri, bir vaqtning o'zida rezolyutsiya va yangi funktsional imkoniyatlarni kiritishni ta'minlaydigan piroliz deb ataladi. Xususan, pirolyred materiallari mexanik kuchlar oshgan yuqori issiqlik va radiatsiya barqarorligini namoyish etdi. Keyinchalik piroliz, neyrotatorli tovushli, atom-kuch mikroskopiyasi uchun maxsus maslahatlar, ko'zda tutqichli mikroskopiya, foton kristallari, ko'rinadigan diapallar va superstuk mafkali metamiteriallardagi foton kristallari.
Piroliz shuningdek, DLL usulining qarorini yaxshilaydi, chunki piroliz tarkibiga ko'ra asl hajmiga nisbatan sezilarli qisqartirildi. Ammo piridzed tuzilmalarining qisqarishi gipriya tuzilmasi muammosini DLL bosqichida keltirilgan substrat muammosini yanada kuchaytiradi. Ushbu muammolar muhim amaliy ahamiyatga ega, ammo hozirgacha ushbu masalalar bo'yicha keng qamrovli tadqiqotlar olib borilmagan. Shu bilan birga, elementlarning hajmini to'g'ri baholash va umuman, pirolizning df-tuzilishiga ta'sirini df-strukturaga ta'sirini har tomonlama baholash vazifasi yuqori bo'lsa, unda yuqori aniqlik bilan.
Yuqori qator: 450 daraja pirolizdan keyin ip (a) iP (a) pirolizdan keyin: ormypom (c) 450 daraja va (e) pirolizdan keyin 690 daraja C. SAD diapazon: piroliz va (f) pirolizdan keyin 690 daraja loydan keyin piroliz va (F) pirolizdan keyin pirolizdan keyin pirolizdan keyin piroliz
Kvantum texnologiyalari markazining nanofotonik sektorlari olimlari o'zlarining tijorat texnologiyasidan foydalanib, o'nlab ishlaydigan dona texnologiyasida dll texnologiyasida bosilgan o'nlab mikrometrlarda pirotsit ta'sirini o'tkazish vazifasi: to'liq organik IP -Dip va organ-noorganik ormokomp va sz2080. GRAND muhitida 450 va 690 daraja haroratni yumshatish uchun Silikon plitasining substratiga o'zgarib, kimyoviy tarkibiy qism, kimyoviy tarkibi va yopishqoqligi taxmin qilindi.
Express jurnalida e'lon qilingan ishda SMSotshunos olimlar fotorezistlarning qisqarishi, shuningdek, piroliz harorati, atmosfera va geometriya tarkibi bilan belgilanadi. Piroliz bilan ishlov berishdan keyingi muayyan fotoradrsistning xatti-harakatlarini hisobga olgan holda, aniq vazifalarga to'liq mos keladigan va o'zboshimchalik bilan ishonchli va ishonchli mikro va nanodarug'larni va deyarli har qanday manzilni yaratishi mumkin.
Taqqoslash shuni ko'rsatdiki, yuqori harorat kuchli siqilishga olib keladi. Yurakni yumingdan keyin ip-cho'kib ketgan tuzilmalar shisha uglerodga aylantiriladi, derootomp va SZ2080 fotorezistlari anorganik moddalar shishadan auteale bilan o'zgartiriladi. IP-chi, shuningdek tanlangan fotoresistlardagi eng katta qisqartirgichni ham namoyish etadi. Shunday qilib, doktli shisha uglerod inshootlarini yaratish uchun IP-pirolizning keyingi pirolizi bilan ishlatilishi mumkin.
Ormokomp rentgen manbalarida talab qilinadigan optik elementlarning buyurtma qilingan optik massivlarni yaratish uchun foydalidir. O'z navbatida, piroliz paytida fotorezistlarning tuzumlari ko'pincha substratdan ajratiladi, bu esa bitta tuzilmalarni ishlab chiqarish uchun qulay bo'lib, unda yana bir chorshanbaga ko'chirilishi kerak. Olingan ma'lumotlar piroliz texnologiyasidan DEL Texnologiya tomonidan yaratilgan va qayta ishlashning ushbu turini faol rivojlantirishga xizmat qilish uchun piroliz texnologiyasi yordamida qo'llanilishi mumkin.
Manba: yalang'och fan