Литографии дутарафаи лазерк (DL) яке аз самтҳои асосии рушди технологияҳои иловагиро, ки барои сохтани микропулӣ ва нанообистемҳо истифода мешаванд, мебошад. Плюпҳои ғайришарнии он қобилияти эҷоди сохторҳои сохтори қариб ки танзимоти се андоза мебошад, ки метавонанд ҳангоми таҳкими кристаллҳо, дастгоҳҳои гуногуни механикӣ, инчунин дар коркард ва дастгоҳҳои нигоҳдорӣ истифода шаванд.
Аммо, бо вуҷуди имкониятҳои олии ин технология, ки ин техникаро дарбар мегирад, маҳдудиятҳои назаррасро дорад. Интихоби мавод ҳангоми истифодаи DLL аз ҷониби фоторҳо - маводи полимадорӣ маҳдуд аст. Бо сабаби шаффофияти полимерҳо дар доираи намоён, набудани механикӣ Миёнрикҳо, инчунин суботи гармии миёна ва дастоварди пасти гармӣ, истифодаи амалии сохторҳо маҳдуд аст. Бо истифодаи коркарди вазифаҳои DF-сохтор баъзе маҳдудиятҳои мавҷуда истифода бурдан мумкин аст.
Яке аз усулҳои ояндадори коркарди баъди коркарди пиролиз номида мешавад, ки ҳамзамон ҳам афзоиши қарори мазкур ва татбиқи функсияи навро фароҳам меорад. Махсусан, маводи пиролавиро устувории баланди гармидиҳӣ ва радиатсионӣ бо зиёдшавии қувваи механикӣ нишон доданд. DLL пас аз пирӯзиҳои проволизҳо аллакай барои ба даст овардани nanoothrodes карбон барои нейоэтрасторҳои садо, маслиҳатҳои махсус барои микросхемаҳои атом, фотамераксияи механикӣ истифода мешаванд.
Пиролиз инчунин қарори усули DLL-ро беҳтар мекунад, зеро сохторе, ки ба пиролиз дучор мешавад, коҳишёбии назаррасро дар муқоиса бо андозаи аслӣ нишон дод. Аммо коҳиш ёфтани сохторҳои пиролизз, мушкилоти сохтори нороҳатиро ба зербахш ба ватане, ки дар саҳнаи DLL мубаддал мегарданд, шиддат медиҳанд. Ин мушкилот аҳамияти муҳими муҳим доранд, аммо то ҳол таҳқиқоти ҳамаҷониба оид ба ин масъалаҳо вуҷуд надоштанд. Дар ҳамин ҳол, баҳодиҳии дурусти коҳишёбии андозаи элементҳо ва дар маҷмӯъ баҳодиҳии ҳамаҷонибаи таъсири пиролиз дар сохтори DF-SELLEL, агар вазифаи коркарди молро бо дақиқии баланд дошта бошад.
Қувваи боло 690 дараҷа. Қаламрави поёнӣ: Lens SZ2000 (F) ба пиролиз ва (F) пас аз пиролиз дар 690 дараҷа C / © www.osaply
Олимони носсоникии маркази технологияҳои квансионии MSU вазифадоранд вазифаи пешбурди таъсири пиролизро дар андозаи даҳҳо микроэлементҳо чоп карда, бо истифода аз технологияи DLL-и тиҷоратӣ аз се фотоэнсҳои тиҷоратӣ чоп карда мешаванд: IP комилан -Дар ва органгия - ormockomp & sz2080. Барои ҳомиладорӣ оид ба ҳарорат 450 ва 690 дараҷа дар фазои Argon, тағирот дар ҳаҷм, таркиби химиявӣ ва адафи ба оксигени табақи Sillicon тахмин карда шуд.
Дар кор ба маҷаллаи экспрессери оптикӣ нашр шудааст, ки CCC аз рӯи навъи фоторнесистӣ, инчунин ҳарорати пиролиз, сохтори пиролезӣ ва геометрия муайян карда мешавад. Бо назардошти рафтори фоторҳои махсуси фоторесистӣ пас аз коркард бо пиролиз, ба даст овардани натиҷаҳои оптималӣ, пурра ба вазифаҳои мушаххас мувофиқат карда, микроэлементҳои тобовар ва боэътимод ва наноскараи шакли худсарона ва қариб ҳама гуна таъинотро эҷод мекунанд.
Муқоиса нишон дод, ки ҳарорати баландтар ба камшавии қавитар оварда мерасонад. Пас аз ҳомиладоршавӣ ба карбон шиша табдил дода мешавад, дар ҳоле ки моддаҳои ғайритабиаршиносии Ормак ва фоторнесҳо дар шиша бо санадҳо тағир дода мешаванд. Сохторҳо аз IP-Dip инчунин хурдтаринро аз фоторҳои интихобшуда нишон медиҳанд. Ҳамин тариқ, DLL бо пиролизизии минбаъдаи пиролизи IP-DIP метавонад барои фароҳам овардани сохтори carbons карбон истифода шавад.
Ормокс барои ташкили дудияҳои фармоишии унсурҳои оптикӣ, ки метавонанд аз манбаъҳои рентгенӣ ё рентгенӣ талаб карда шаванд, муфид бошад. Дар навбати худ, иншоотҳо аз фоторнесистӣ аз фоторҳо аз Purorsist SZROSISTIONS аксар вақт аз субстрат, ки барои истеҳсоли сохторҳои ягонаи ягона қулай аст, ки бояд рӯзи чоршанбе ба дигараш кӯчонида шаванд. Маълумоти бадастомада метавонад истифодаи технологияи Purolises ҳамчун усули стандартии сохторҳои пасошрие, ки аз ҷониби технологияи DLL сохта шудаанд ва ҳамчун рушди фаъоли ин намуди коркард, олимон хидмат мекунад.
Манбаъ: Илм