పాలిమర్ మైక్రో- మరియు నానోబ్జెస్ట్లను సృష్టించడానికి ఉపయోగించే సంకలిత సాంకేతిక పరిజ్ఞానాల అభివృద్ధిలో రెండు-ఫోటోనిక్ లేజర్ లిథోగ్రాఫ్ (DL) ప్రధాన దిశలలో ఒకటి. దాని షరతులు ప్లస్ దాదాపు ఏ త్రిమితీయ ఆకృతీకరణ నిర్మాణాలు సృష్టించడానికి సామర్ధ్యం, ఇది ఫోటాన్ స్ఫటికాలు, వేవ్, వివిధ యాంత్రిక పరికరాలు, అలాగే ప్రాసెసింగ్ మరియు నిల్వ పరికరాల్లో సృష్టించేటప్పుడు ఉపయోగించవచ్చు.
అయితే, ఈ టెక్నాలజీ అందించిన అద్భుతమైన అవకాశాలు ఉన్నప్పటికీ, ఇది గణనీయమైన పరిమితులను కలిగి ఉంటుంది. DLL ను ఉపయోగించినప్పుడు వస్తువుల ఎంపిక ఫోటోరేస్ట్స్ - పాలిమర్ ఫోటోసెన్సిటివ్ పదార్థాలు. కనిపించే పరిధిలో పాలిమర్ల పారదర్శకత కారణంగా, విద్యుత్ వాహకత, మధ్యస్థమైన యాంత్రిక లక్షణాల లేకపోవడం, అలాగే తక్కువ వేడి మరియు రేడియేషన్ స్థిరత్వం, DLL తో సృష్టించబడిన నిర్మాణాల యొక్క ఆచరణాత్మక ఉపయోగం పరిమితం. Df- నిర్మాణాల పోస్ట్ ప్రాసెసింగ్ ఉపయోగించి ఇప్పటికే ఉన్న పరిమితులను అధిగమించడం సాధ్యమే.
పోస్ట్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క వాగ్దానం పద్ధతుల్లో ఒకటి పిరోలిసిస్ అని పిలుస్తారు, ఇది ఏకకాలంలో రిజల్యూషన్ మరియు కొత్త కార్యాచరణను పరిచయం చేస్తుంది. ముఖ్యంగా, పైరోబ్రేడ్ పదార్థాలు అధిక ఉష్ణ మరియు రేడియేషన్ స్థిరత్వాన్ని పెరిగిన యాంత్రిక బలంతో నిరూపించాయి. పైరోలిసిస్ తరువాత DLL ఇప్పటికే న్యూరోటియేటర్ ధ్వనించే కార్బన్ నానోఎలెక్ట్రోడ్స్ను పొందటానికి ఉపయోగించబడుతుంది, అటామిక్-ఫోర్స్ సూక్ష్మదర్శిని, ఫొటోన్ స్ఫటికాలు కనిపించే పరిధి మరియు సూపర్ప్రూఫ్ యాంత్రిక మెటామదాల కోసం ప్రత్యేక చిట్కాలు.
పైరోలిసిస్ కూడా DLL పద్ధతి యొక్క తీర్మానాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది, ఎందుకంటే పైరోలిసిస్కు గురైన నిర్మాణం, అసలు పరిమాణంతో పోలిస్తే గణనీయమైన సంకోచాన్ని చూపించింది. కానీ పైరోలైజ్ నిర్మాణాలు యొక్క సంకోచం DLL దశలో ఇప్పటికే ఉత్పన్నమయ్యే ఉపరితలానికి సంశ్లేషణ నిర్మాణం యొక్క సమస్యను తీవ్రతరం చేస్తుంది. ఈ సమస్యలు ముఖ్యమైన ఆచరణాత్మక ప్రాముఖ్యత, కానీ ఇప్పటివరకు ఈ సమస్యలపై సమగ్ర పరిశోధనలు లేవు. ఇంతలో, అంశాల పరిమాణంలో తగ్గుదల సరైన అంచనా మరియు సాధారణంగా DF- నిర్మాణం మీద పైరోలిసిస్ యొక్క ప్రభావం యొక్క సమగ్ర అంచనా ఖచ్చితంగా అవసరం ఉంటే అధిక ఖచ్చితత్వంతో మైక్ ప్రాసెసింగ్ పొందడానికి ఒక పని ఉంటే.
టాప్ వరుస: IP-DIP (A) లెన్స్ (ఎ) పైరోలిసిస్ మరియు (బి) 450 డిగ్రీల C. మధ్య శ్రేణి: ormocomp (సి) పైరైసిస్ మరియు పైరోలిసిస్ మరియు పైరోలిసిస్ తర్వాత (d) 450 డిగ్రీల సి మరియు (ఇ) 690 డిగ్రీల సి. దిగువ శ్రేణి: లెన్స్ SZ2080 (F) పైరోలిసిస్ మరియు (f) 690 డిగ్రీల c / www.osapublish.org
క్వాంటం టెక్నాలజీస్ యొక్క కేంద్రం యొక్క నానోఫోటోనిక్ విభాగాల శాస్త్రవేత్తలు తమను తాము స్వరూపమైన వస్తువులను డజన్ల కొద్దీ మైక్రోమీటర్ల పరిమాణంలో పక్వమైన అధ్యయనం యొక్క తులనాత్మక అధ్యయనం నిర్వహించే పనిని నియమించారు, మూడు వాణిజ్యపరంగా అందుబాటులో ఉన్న ఫొటోరిస్ట్ల నుండి DLL సాంకేతిక పరిజ్ఞానం: -Dip మరియు అవయవ-అకర్బన ormocomp మరియు sz2080. ఒక ఆర్గాన్ వాతావరణంలో ఉష్ణోగ్రతలు 450 మరియు 690 డిగ్రీల సెల్సియస్ కోసం, పరిమాణంలో మార్పులు, రసాయన కూర్పు మరియు సిలికాన్ ప్లేట్ యొక్క ఉపరితలానికి సంశ్లేషణ అంచనా వేయబడ్డాయి.
ఆప్టికల్ మెటీరియల్ ఎక్స్ప్రెస్ జర్నల్లో ప్రచురించిన పనిలో, CCC శాస్త్రవేత్తలు నిర్మాణం యొక్క సంకల్పం ఫోటోరేటర్ యొక్క రకాన్ని, అలాగే పైరోలిస్ ఉష్ణోగ్రత, వాతావరణం మరియు జ్యామితి నిర్మాణం ద్వారా నిర్ణయించబడతాయని నిర్ధారించారు. అశిలోసిస్తో పోస్ట్ ప్రాసెసింగ్ తర్వాత ఒక నిర్దిష్ట ఫోటోరేటర్ యొక్క ప్రవర్తనను పరిగణనలోకి తీసుకుంటే, నిర్దిష్ట పనులకు పూర్తిగా అనుగుణంగా సరైన ఫలితాలను సాధించడం సాధ్యమవుతుంది, మరియు ధోరణి-నిరోధకత మరియు విశ్వసనీయ మైక్రో- మరియు ఏకపక్ష ఆకారం మరియు దాదాపు ఏ గమ్యస్థానాలను సృష్టించడం సాధ్యమవుతుంది.
పోలిక అధిక ఉష్ణోగ్రత బలమైన సంకోచానికి దారితీస్తుంది. Annealing తర్వాత IP- డిప్ నుండి నిర్మాణాలు గాజు కార్బన్గా మార్చబడతాయి, అయితే Ormacomp మరియు SZ2080 యొక్క అకర్బన పదార్థాలు అకర్బన పదార్ధాలు అకర్బన పదార్ధాలు అన్లీన్తో గాజులో సవరించబడతాయి. IP- డిప్ నుండి నిర్మాణాలు కూడా ఎంచుకున్న ఫోటోరేటర్ల నుండి అతిపెద్ద సంకోచాన్ని ప్రదర్శిస్తాయి. అందువలన, IP- డిప్ పైరోలిసిస్ యొక్క తదుపరి పైరోలిసిస్ తో DLL వాహక గాజు కార్బన్ నిర్మాణాలు సృష్టించడానికి ఉపయోగించవచ్చు.
X- రే మూలాలపై డిమాండ్లో ఉన్న ఆప్టికల్ అంశాల ఆదేశించిన శ్రేణుల సృష్టికి ormocomp ఉపయోగకరంగా ఉంటుంది. క్రమంగా, pyrosisist సమయంలో photoresist sz2080 నుండి నిర్మాణాలు తరచుగా ఉపరితలం నుండి డిస్కనెక్ట్, ఇది ఒకే నిర్మాణాలు తయారీకి సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది, అప్పుడు మరొక బుధవారం తరలించబడింది అవసరం. DLL టెక్నాలజీచే సృష్టించబడిన పోస్ట్-ప్రాసెసింగ్ నిర్మాణాల ప్రామాణిక పద్ధతిగా పైరోలిసిస్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించిన డేటా మరింత ఉపయోగించవచ్చు మరియు ఈ రకమైన పోస్ట్ ప్రాసెసింగ్, శాస్త్రవేత్తలు గమనిక యొక్క క్రియాశీల అభివృద్ధిగా ఉపయోగపడుతుంది.
మూలం: నేకెడ్ సైన్స్