У московском универзитету у поређењу са утицајем пиролизе на различите врсте фоторесиста

Anonim

Дво-фотонски ласерски литограф (ДЛ) један је од главних упутстава у развоју адитивних технологија који се користе за креирање полимерних микро- и нанообјеката. Његова безусловна плус је способност стварања структура скоро било које тродимензионалне конфигурације, која се може користити приликом креирања фотона кристала, таласа, разних механичких уређаја, као и у уређајима за прераду и складиштење и складиштење.

Међутим, упркос одличним могућностима које пружа ова технологија, садржи знатна ограничења. Избор материјала Када користите ДЛЛ је ограничен фотористима - полимерни фотосензивни материјали. Због транспарентности полимера у видљивом распону, недостатак електричне проводљивости, осредње механичке својства, као и ниска стабилност топлоте и зрачења, практична употреба структура креираних са ДЛЛ остаје ограничена. Могуће је превазићи нека од постојећих ограничења користећи накнаду за прераду ДФ структура.

Једна од обећавајуће методе накнадне обраде назива се пиролизи, која истовремено пружа и повећање резолуције и увођење нове функционалности. Посебно, пиролични материјали показали су високу топлотну и зраконску стабилност, заједно са повећаном механичком снагом. ДЛЛ праћено пиролиза већ се успешно користи за добијање угљених наноелектрода за неуротијаторе, посебне савете за микроскопију атомско-силе, фотонски кристали у видљивом опсегу и суперпроолачким механичким метаматеријама.

У московском универзитету у поређењу са утицајем пиролизе на различите врсте фоторесиста 19924_1
Модел рендгенске сочива на солидном пиједесту: А - Тродимензионални поглед, Б - вертикални рез на оптичкој оси сочива / © ввв.осапублисх.орг

Пиролиза такође побољшава резолуцију ДЛЛ методе, јер је структура изложена пиролизи, показала значајну скупљање у поређењу са оригиналном величином. Али скупљање пиролизованих структура погоршава проблем структуре адхезије на подлогу која је настала већ у ДЛЛ фази. Ови проблеми су важни практични значај, али до сада није било свеобухватних истраживања о тим питањима. У међувремену, исправна процена смањења величине елемената и опћенито свеобухватна процена утицаја пиролизе на ДФ структуру је апсолутно неопходна ако постоји задатак да се МИЦ прераде са високом прецизном прерадом.

У московском универзитету у поређењу са утицајем пиролизе на различите врсте фоторесиста 19924_2
Слике Слике структура исписаних од ИП-ДИП-а, Ормоцомп и СЗ2080.

Топ ред: ИП-ДИП (а) сочива (а) на пиролизу и (б) након пиролизе на 450 степени Ц. средњи распон: ормоцомп (ц) сочиво пиролизу и после пиролизе у (д) 450 степени Ц и (Е) 450 степени Ц и (Е) 690 степени ц. Нижи опсег: Ленс СЗ2080 (Ф) на пиролизу и (ф) Након пиролизе на 690 степени Ц / © ввв.осапублисх.орг

Научници су нанофотониц сектора у центру квантна технологија МСУ себи поставили задатак да спроведе упоредну студију о утицају пиролизе на чврстих објеката у величини десетина микрометара, штампан коришћењем ДЛЛ технологије од три комерцијално доступних фотографског лака: Потпуно органска ИП -Дип и оргуљаш-неоргански ормоцомп и СЗ2080. За жарне температуре 450 и 690 степени Целзијуса у атмосфери аргона процењена су промене у величини, хемијски састав и пријањање на подлогу силицијумске плоче.

У раду објављеном у часопису Оптичког материјала Екпресс, научници ЦЦЦ-а потврдили су да се скупљање структуре одређује типом фоторесиста, као и температуре пиролизе, атмосфере и структуре геометрије. Узимајући у обзир понашање одређеног лака након пост-прераде са пиролизе, могуће је постићи оптималне резултате, у потпуности одговара специфичним задацима, и створити отпоран на хабање и поуздану микро и наноструктуре произвољног облика и готово било коју дестинацију.

Поређење је показало да виша температура доведе до јаче скупљања. Структуре из ИП-ДИП-а након говеда претварају се у стаклено угљеник, док су неорганске супстанце Ормоцомп и СЗ2080 фоторесисте модификоване у чаши са жарења. Структуре из ИП-ДИП-а такође показују највећу скупљање одабраних фоторесиста. Дакле, ДЛЛ са накнадном пиролизом ИП-ДИП пиролизе може се користити за стварање проводљивих стаклених угљених структура.

ОрмоЦомпп је користан за стварање наређених низа оптичких елемената који могу бити у потрази за рендгенским изворима. Заузврат, структуре од фоторисистичке СЗ2080 током пиролизе често се искључују од подлоге, што је погодно за производњу појединачних структура, које је потребно преместити у другу среду. Добијени подаци се могу даље користити помоћу пиролизе технологије као стандардну методу пост прерађивачких структура које су креирале ДЛЛ технологије и послужиће као активни развој ове врсте пост-обраде, научници биљеже.

Извор: Гола наука

Опширније