Maviri-photonic laser lithograph (dl) ndeimwe yemafambiro makuru mukuvandudza matekinoroji ezvekuwedzera anoshandiswa kugadzira polymer- uye naneobjects. Yayo isingagumi uye kugona kugadzira zvivakwa zveimwe-matatu-matunhu ekugadziriswa, izvo zvinogona kushandiswa kana uchigadzira midziyo yefoni, inoshandiswa nemidziyo, pamwe nekugadzirisa uye nekuchengetera zvishandiso.
Nekudaro, kunyangwe paine mikana yakanaka kwazvo yakapihwa neiyi tekinoroji, ine mipimo yakakura. Iko kusarudzwa kwezvinhu kana uchishandisa DLL inogumira nevemari - polymeric photosensitive zvinhu. Nekuda kwekujeka kwePolymers mune huwandu hunooneka, kushaikwa kwemagetsi, pamwe nekudziya kwakaderera uye kushanduka kwemitambo, kushandiswa kwekushandiswa kwezvivakwa kwakagadzirwa neDLL kusara. Izvo zvinokwanisika kukurira zvimwe zvezvirambidzo zviripo uchishandisa post-kugadzirisa kweDF-zvivakwa.
Imwe yedzimwe nzira dzekuvimbisa dzekutumira dzinodaidzwa kuti pyrolysis, iyo panguva imwe chete inopa zvese kuwedzera mukugadziriswa uye kusuma kwekushanda kutsva. Kunyanya, zvigadzirwa zvePyrolycred zvinoratidza zvakakwirira zvekupisa uye radiation kugadzikana pamwe nekuwedzera mechaniki simba. DLL inoteverwa nePyrolysis yakashandiswa zvinobudirira kuwana kabhoni nanoelelectrodes neurotictor Inonzwika, Mazano eAtomic
Pyrolysis inovandudzawo kugadzirisa kweiyo DLL nzira, sezvo chimiro chakaratidzwa pyrolysis, yakaratidza kukosha kuenzaniswa kwakaenzaniswa nehukuru hwekutanga. Asi kuderera kwezvigadzirwa zvePyrolyzed vanowedzera dambudziko reAdhishing dhizaini kune iyo substrate yatove muDll Stage. Matambudziko aya akakosha kukosha kwakakosha, asi kusvika pari kusvika pakanga pasina kutsvagisa kwakazara pazvinhu izvi. Zvichakadaro, kuongororwa kwakakodzera kwekuderera kwezvinhu zvoukuru uye zvakazara kuongororwa kwakakwana kwekukanganisa kwepyrolysis pane df-chimiro chakanyatsoenderana kana paine basa rekugadzirisa mic.
Mutsetse wepamusoro: IP-Dip (a) lens (a) kusvika pyrolysis uye (b) mushure mekunge pyrolysis on 450 degreysis uye lens 690 degrees c. Yakadzika Range: Lens sz20808808080800
Masayendisiti ematunhu eNanofomicial epakati pehuwandu hwekuita basa rekuita basa rekufananidzira rezvikamu zvekutengesa, rakadhindwa tekinoroji -Dip uye nhengo-inorganic ormocomput uye sz2080. Kune tembiricha inosimbisa 450 uye 690 degrees celsius mune argon mamiriro, shanduko muhukuru, kuumbwa kwemakemikari uye kudenha kune iyo substrate ndiro yeSilicon yakafungidzirwa.
Mubasa rakaburitswa muzvinyorwa zvekutaura, masayendisiti eCCC akasimbisa kuti kuderera kwechimiro kwakaitwa nemhando yerudzi rweMota, pamwe neiyo pyrolysis tembiricha, mamiriro egometry. Kufunga nezve maitiro eimwe photerresist mushure mekugadzirisa-pyrothlis, zvinoenderana zvakakwana mabasa, uye ikaita zvinhu zvinopfekwa uye zvakavimbika zvezvipfuyo zvemapenzi uye zvinenge zviripo.
Kufananidza kwakaratidza kuti tembiricha yakakwira inotungamira kune yakasimba shrinkage. Zvivakwa kubva kuIP-dip mushure mekunze zvinoshandurwa kuita girazi carbon, nepo zvinhu zvisikwa zveTheMOCOMPO uye SZ2080 MAPORESA ZVINOGONESESWA MUMARURANISH Zvivakwa kubva ku ip-dip zvakare inoratidza iyo yakakura shrinzwi kubva kune yakasarudzwa mifananidzo. Nekudaro, iyo DLL ine inotevera pyrolyis yeiyo IP-Dip Pyrolysis inogona kushandiswa kugadzira maitiro egirazi carbon zvivakwa.
Ormocomp inobatsira pakusikwa kweakarairwa arrays yezvinhu zvekushandisa izvo zvinogona kuve mukuda kune X-ray zvinyorwa. Mukuchinja, zvivakwa kubva kuParayist Sz2080 Munguva yePyrolysis dzinowanzo bviswa kubva kuSubstrate kubva kuSubstrate. Iyo data yakawanikwa inogona kunge ichishandiswa uchishandisa Pyrolysis tekinoroji seyakajairwa nzira yezvinyorwa zvakagadzirwa neDLL tekinoroji, uye ichashanda sekusimudzira kwerudzi urwu rwekugadzirisa, masayendisiti anocherekedza.
Kunobva: Naked Science