Москва мужийн их сургууль нь янз бүрийн хэлбэрийн фоторесистууд дээр пиролизийн нөлөөллийг харьцуулж үздэг

Anonim

Хоёр фотон фотон лазер Литограф (DL) нь полимер микро- ба нанообыг үүсгэхэд ашигладаг нэмэлт чиглэлүүдийн нэг юм. Нөхцөлгүй нэмэх нь Pharon талбайнууд, Wonlenguide-ийн бараг аливаа аливаа гурван хэмжээст тохиргоог үүсгэх, мөн төрөл бүрийн механик төхөөрөмжийг боловсруулах, түүнчлэн боловсруулж, хадгалах хэрэгсэл юм.

Гэсэн хэдий ч энэ технологийн маш сайн боломжуудыг үл харгалзан, гэхдээ энэ нь ихээхэн хязгаарлалт агуулдаг. DLL-ийн сонголтыг ашиглах нь фоторесистууд хязгаарлагдмал байдаг. Харагдах байдал нь харагдахуйц хязгаарлагдмал байдлаас шалтгаалан цахилгааны дамжуулалт, дунд зэргийн урсгалын шинж чанар, дунд зэргийн болон цацрагийн тогтвортой байдал, дундуур бүтээсэн ба цацрагийн тогтвортой байдал, DF бүтцийг боловсруулалтын дараах зарим хязгаарлалтыг даван туулах боломжтой.

Боловсруулалтын дараахь ирээдүйг боловсруулж буй ирээдүйг боловсруулж, нарийвчлал нь тогтоол, шинэ функцийг нэвтрүүлэхийг зөвшөөрдөг. Тухайн үед пироли бүхий материал нь өндөр дулааны болон цацраг тогтвортой байдлыг харуулсан. Дласны дараа нь Няролизаторын дэгжин, Атиролизийн дуутектик, тусгай микроскоп, тусгай микроскопи, фотон фотон ба Superpoof Micant Medicaterials-д ашиглахад аль хэдийн амжилттай хэрэглэгддэг.

Москва мужийн их сургууль нь янз бүрийн хэлбэрийн фоторесистууд дээр пиролизийн нөлөөллийг харьцуулж үздэг 19924_1
Хатуу тавцан дээр рентген линз загвар: A - A - Гурван хэмжээст харагдац, B - optensical of of the of topical topiz

Пиролиз нь пиролизанд өртсөн бүтэц, мөнхтэй харьцуулбал, нарийвчлалыг нарийвчлан дагаж мөрддөг. Гэхдээ пиролизаар хийсэн бүтэц нь наалдамхай бүтцэд наалдамхай бүтэц нь DIRL-ийн шатанд байгаа субстрацид аль хэдийнэ дуульны үе шатанд хамрагдана. Эдгээр асуудал нь практик чухал ач холбогдолтой бөгөөд өнөөг хүртэл эдгээр асуудлаар цогц судалгаа хийгээгүй. Үүний зэрэгцээ, элементүүдийн хэмжээг зөв үнэлгээний зөв үнэлгээ нь маш өндөр нарийвчлалтайгаар боловсруулах үүрэг гүйцэтгэдэг.

Москва мужийн их сургууль нь янз бүрийн хэлбэрийн фоторесистууд дээр пиролизийн нөлөөллийг харьцуулж үздэг 19924_2
IP-DIP, ORMOCOMP, SZ2080-аас хэвлэгдсэн бүтэц, ormocomp ба sz2080.

Топ эгнээ: IP-DIP (A) линз (а) линз (а) LINES (A) Пиролизийн дараа 450 градусын дараа Пиролиз (в) линз (C) линз ба пиролизийн дараа (D) линз, пиролизийн дараа (D) 450 градусын дараа 690 градус c. Доод муж: LINS SZ2080 (F) Пиролиз ба (F) Пиролиз ба (F) Пиролиз ба (F) Пиролиз ба

Квант технологийн төвд байрлах нанофоник судлууд MSU-ийн ХУДАЛДААНЫ ТЕХНОЛОГИЙН ТЕХНОЛОГИЙН ХУВИЙН ХУВИЙН ХУВИЙН ХУВИЙН ХУВИЙН ХУВЬЦААНЫ ХУВИЙН ХУВЬЦАА -Дип ба inmorganic ormocomp ба sz2080. Aremate-ийн температурт 450 ба 690 градусын Агаар мандалд зориулж CERSOMES CERSIES-ийн хувьд хэмжээ, химийн найрлагад няруулах нь химийн загвар, химийн шугам, химийн чиг улсны шугам, химийн шугам, химийн чиг улсны шугам, химийн чиг шорооны оршил, Нария, химийн шугам, химийн чиг ,именийн хавтангаар хийсэн хувьцаа, нагнал нь тооцоолжээ.

Оптик материаллаг үйрмэг дээр нийтлэгдсэн ажилд хэвлэгдсэн ажилтнууд, CCC эрдэмтэд нь фотошийн температур, геометрийн бүтэц, геометрийн бүтэцтэй болохыг батлав. Пиролизийн дараахь профолизын талаархи тодорхой фотореристуудын зан байдлыг харгалзан үзэх, тодорхой ажлуудтай нийцэж, тодорхой ажил, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай, найдвартай бөгөөд

Харьцуулалт нь илүү өндөр температур нь илүү хүчтэй агшилтанд хүргэдэг болохыг харуулсан. Хасалтын дараа IP-DIP-ийн бүтцийг шилэн нүүрстөрөгч болгон хувиргаж, Ormocomp болон Sz2080 Photoves-ийн органик бус бодисууд, Sz2080 Photorists нь шилэн дээр шилждэг. IP-DIP-ийн бүтэц нь сонгосон фоторесистуудаас хамгийн том агшилтыг харуулж байна. Ийнхүү IP-DIP PIP-ийн дараагийн пиролиз бүхий DLL нь дамжуулагч шилэн нүүрстөрөгчийн бүтцийг үүсгэхэд ашиглаж болно.

Ormocomp нь рентген шинжилгээнд эрэлт хэрэгцээтэй байж болох оптикийн массив хэлбэрийг бий болгоход тустай. ХУГАЦААНЫ ХУГАЦААНЫ ХУГАЦААНЫ ХУГАЦААНЫ ХУГАЦААНЫ ЗОРИУЛСАН ЗОРИУЛСАН ЗОРИУЛСАН ЗОРИУЛСАН БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ БОЛОМЖТОЙ. Хүлээн авсан өгөгдлийг DLL технологийн бүтцийн дараахь бүтээн байгуулалтын бүтцийг ашиглан, энэ төрлийн боловсруулалтын дараахь стандарт, эрдэмтдийн тэмдэглэл болгон идэвхтэй ажиллах болно.

Эх сурвалж: Нүцгэн шинжлэх ухаан

Цааш унших