Zu Moskau State Universitéit am Verglach zum Impakt vum Pyroolyse op verschidden Aarte vu Photoresisten

Anonim

Zwee-phononesch Laser Lithograph (DL) ass ee vun den Haaptschrëften an der Entwécklung vun der Entféierung Technologien benotzt fir Polymer Mikro- an Nanoobis ze kreéieren. Seng bedontenst Konfigural plus ass d'Fäegkeet vu bal dreider dimensional Konfiguratioun ze kreéieren, wat ka benotzt ginn wann Dir Photon Kristalle kënnt, op d'Veraarbechtung.

Wéi och ëmmer, wéinst exzellent Méiglechkeeten positiv vun dëser Technologie gesat huet, enthält et. D'Wiel vu Materialien wann Dir mat DTLL benotzt gëtt limitéiert duerch Photoresisten - polymeresch Photeritomaterial. Wéinst der Transparenz vu Polëlen um förderen Gamme, de Mangel vun de wéinegen Eegenschafte vill Eegenschaftsstabilitéit, souwéi Stratifer vun Struktur an der Strature mat DKAKTATe bleift mat DC Limektiven ënner Strukturstabilitéit; Et ass méiglech e puer vun den existente Restriktiounen ze iwwerwannen andeems Dir Postveraarbechtung vun DF-Strukturen iwwerwonnen.

Eeng vun den substante Methode vu Post, ass Schloof, wat gläichzäiteg wärend een gläichzäiteg d'Erhéijung an d'Aféierung vun der Fro an hir Funktioun vun der Fegrtionneller eraus ... Besonnesch, pyrooleschst Material, déi héich tramat personated a Stralungsstabilitéit zesumme funmen mat fundomnicalesch Kraaft huet. DLL gefollegt vu Pyrolyse gëtt scho erfollegräich benotzt fir Kuelestoff Nanoerecoden ze kréien fir den Neurotator Calling, Spezial Tipps fir Atomskalesch an der Phonomothalesch Grompelen an der Superprokraten an der Superprofal

Zu Moskau State Universitéit am Verglach zum Impakt vum Pyroolyse op verschidden Aarte vu Photoresisten 19924_1
X-Ray Lënsmodell op engem festene Sockel: A - dräi-zweedimensional Vue, B - vertikal Inzision op der optescher Achs / ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦ ♦

D'Psylises verréit och d'Resultater vun der Äll Method. Wa d'Struktur hu sech eng grouss schnell zanter an der Originentlech Zort fir d'Originaltgréisst am Ausspours an der Originaltgréisst am Verglach zum Originaltgréisst gemaach. Awer de schrumpft vun der Pyrozeger Strukture schloen de Problem vun der Adhäsiounsstruktur op de Substrat, deen schonn an der DLL Bühn ass. Dëst Patienze sinn wichteg besonnesch wichteg Wäert, awer sou wäit op doherer Fuerschung op dës Themen waren. Mëttlerweil, déi richteg Bewäertung vum Ofsenkung vun der Gréisst vun den Elementer an allgemeng déi ëmfristeg Bewäertung vum Impakt vum Pyroolyse iwwer d'DF-Struktur, wann et eng Aufgab ass mat héijer Erlaabnis ze kréien.

Zu Moskau State Universitéit am Verglach zum Impakt vum Pyroolyse op verschidden Aarte vu Photoresisten 19924_2
SEM Biller vun der Strukture vun der IP-Taucht, Ormocomp an Sz2080 gedréckt.

Top Zeil: IP-Taug (a) Lens (a) op Pyroolyse an (b) nom Pyrolyse bei 450 Grad C. Mëttelfeier: Ormokomp (C) Lënsen op Pyrolyse an (DYrolyse Cyrolyse A (D) 450 DIVERSEEN AN ECH PYROLS (APPLY ZOW: IP-Taug (A) op Pyroolyse an (b) nom Pyrolyse C. Madame Gromperen: Ormokomp (C) Lens zu Pyrolyse 690 Grad c. Ënnert Gamme: Lëns Sz2080 (F) op Pyroolys an (F) nom Pyroolyse C /0 Grad C / / ♦ ♦ ♦ © www.oosapuub

Wëssenschaftler vun den Nancofonesch Sekteuren aus dem Zentrum vum Quante Technologien MSU setzen d'Aufgab fir eng vergläichbar Studie vum Afloss vun der Pyrolyse op der Gréisst vun der Dutzende vun Dutzende, déi mat dräi kommerzielle verfügbare Fotografisten vun den Nancopofonen -Dip an Organ-inorganesch Ormocobil an Sz2080. Fir liewenzwelzegen Temperaturen 450 a 690 Grad Celels entstinn d'Verstëmmung, d'Verübten vun der Silcurvant an der Gréisst, charge satherpt an der Gréisst

An der Aarbecht publizéiert am Opfigurzhik vun der Aart Ascusal, d'CCC Desccecésveriergs, an der Aart a senger Photometterfemtung, e Pattorry, an d'Paterkirterung. Fir d'Verhalen vun engem bestëmmten Photorstrukt ze berücksichtegen, mat der Mammesprooch ze berücksichtegen, ass et méiglech optimal Resultater ze erreechen.

Zesummen dës héich Temperatur féiert sech iwwert dem staarkt Risiko féiert. Strukturen vun IP-Zum ginn nom Anneau opgekuckt ginn an Glaspikbeg Op där Kuchbeiser aus dem Ophoffsist an dem Szcortististe ginn an der Errëtz mat Anneide. Strukturen aus IP-Taucht dat och de gréisste Krongung vun der gewielter Photoresists weist. Dowéinung mat der ergeksiicht Péchelitéite kënnen duerno ginn, wa se fadinativ Stärekon Strukturen gauë kënne genéissen.

Ormocomp ass nëtzlech fir d'Schafung vun der bestallter Arrays vun optescher Elementer déi op der Demande op X-Ray Quellen kënnen sinn. Touren ofzeschléissen den Strukturen aus der Photorées Sz2080 wärend der Pyrelymierwen ginn oft aus dem Fourraturechten ze disperséieren, déi duerno an op engem anere Mëttwochs gëtt. Déi kritt Daten kënne weider mat Pyrolsatiounstechnikatioun als Standardmethod erstallt ginn aus der Post-Veraarbechtung vun dëser Aart vun dësem Typ vun dëser Zort vun dëser Veraarbechtung vun dësem Typ vun dëser Zort Veraarbechtung.

Quell: plakeg Wëssenschaft

Liest méi